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平麵度,是屬於形位公差中的一種,指物體表麵具有的宏觀凹凸高度相對理想平麵的偏差。在傳統的檢測方法中,平麵度的測量通常有:塞規/塞尺測量法、液平麵法、激光平麵幹涉儀測量法(平晶幹涉法)、水平儀/數字水平儀測量法、以及打表測量法。
塞尺測量法,隻需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地進行平麵度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由於其精度不高,常規最薄塞尺為10um,檢測效率較低,結果不夠全麵,隻能檢測零件邊緣。
液平麵法,基於連通器工作原理,適合測量連續或不連續的大平麵的平麵度,但測量時間長,且對溫度敏感,僅適用於測量精度較低的平麵。
激光平麵幹涉儀測量法,最典型的用法是平晶幹涉法。但主要於測量光潔的小平麵的測量,如千分頭測量麵,量規的工作麵,光學透鏡。
水平儀測量法,廣泛用於工件表麵的直線度和平麵度測量。測量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反複挪動儀器位置,記錄各測點的數據,費時、費力,調整時間長,數據處理程序繁瑣。
打表測量法,典型應用為平板測微儀及三坐標儀,其中優以三坐標儀為應用最廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動,按選定的布點測取各測量點相對於測量基準的數據,再經過數據處理評定出平麵度誤差。但其效率較低,通常一個樣品需要幾分鍾,離15ppm的期望相差甚遠。
激光測量儀:嘉騰新開發平麵度測量儀FS5030係列,采用高精度大理石基座及平板保證極高的平麵精度以及穩定性和剛性.精密研磨級滾珠絲杆及線性導軌,配鬆下伺服馬達具有高速精確的定位以及運動的穩定性.人性化的人機界麵,配專用全自動平麵測量軟件,可編程自動檢測,大大提高測量效率.含基恩士LK-G10或LKG30激光,可以快速測量平整度,伯恩光學、合力泰等玻璃行業公司,目前都在采用嘉騰新開發的平麵度檢測儀,大大節約人工成本,提供測量效率以及檢測精度。